真空腔體的加熱方法分為內(nèi)加熱和外加熱兩種,外加熱是在腔體外部加熱,依托腔體壁將熱量傳導進來,通過熱輻射傳遞熱量;內(nèi)加熱是直接在真空腔體內(nèi)部進行加熱,相比內(nèi)加熱方法,外加熱有滯后性,且內(nèi)加熱方法的控溫精度相對于外加熱來說更準確,所以一般情況下我們會選擇內(nèi)加熱方法.

加熱器的選擇也非常重要,一般選用裝置方便的扣板式加熱板進行內(nèi)加熱.扣板式加熱板的外表是鏡面的不銹鋼板,在平整度上比直接由真空腔體壁拋光更有優(yōu)勢,更利于進行熱輻射傳導熱量.

一般真空腔體內(nèi)部是規(guī)矩的長方體,用一面加熱進行熱輻射的方法熱傳導不能合理涵蓋整個腔體的內(nèi)部空間,所以作用不是很抱負,.通過實驗證明,采取在真空腔體內(nèi)正上方、正下方、左旁邊面、右旁邊面各裝置一套加熱板加熱的方法,選用面對面熱輻射方法對腔體內(nèi)部進行加熱.

因為設備在真空狀態(tài)下選用了上,下,左,右四面四路加熱的方法,比單純一路加熱就要雜亂多了,這也是溫度控制的難點.因此選用PID來進行溫度控制調(diào)節(jié),控溫熱偶設置在腔體內(nèi)部,這樣可以更好地控制真空腔體內(nèi)的溫度.

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