真空腔體鍍膜設(shè)備鍍膜機(jī)腔體檢漏方法
跟著真空鍍膜設(shè)備的不斷使用,真空鍍膜機(jī)鍍膜機(jī)腔體的檢漏是必不可少的,真空鍍膜機(jī)檢漏是指在鍍膜機(jī)內(nèi)部的不銹鋼真空腔體真空下降到必定程度的時(shí)分,如0.5 mbar以下的時(shí)分,拿氦氣噴在懷疑有漏的當(dāng)?shù)?或許查看規(guī)范保養(yǎng)時(shí)動(dòng)到的部位.這時(shí)需求有人調(diào)查檢漏儀的漏率指示值的改變.當(dāng)漏率上升或漏率值改變劇烈的時(shí)分,及時(shí)指出漏點(diǎn)所在位置,并做記號(hào).
1.將氦質(zhì)譜檢漏儀HLT560連接到泵組前的檢漏口上.
2.發(fā)動(dòng)檢漏儀, 檢漏儀開(kāi)始抽取鍍膜機(jī)腔體中的空氣,一起發(fā)動(dòng)鍍膜設(shè)備的泵組.
3.在鍍膜機(jī)方形真空腔體腔體內(nèi)部的真空下降到必定程度(0.5 mbar)以下的時(shí)分,,將氦氣噴在疑似有漏的當(dāng)?shù)?或許查看規(guī)范保養(yǎng)時(shí)動(dòng)到的部位.這時(shí)調(diào)查檢漏儀的漏率改變.當(dāng)漏率上升或漏率值改變劇烈的時(shí)分,及時(shí)標(biāo)記漏點(diǎn)位置.
4.所有可疑點(diǎn)都檢測(cè)完成后,關(guān)閉檢漏儀,停下鍍膜機(jī)的泵組并將鍍膜機(jī)腔體打開(kāi),將檢測(cè)出的漏點(diǎn)進(jìn)行處理(如更換密封圈,清潔等),處理完成后,再按照上述進(jìn)程查看一遍,直到所有漏點(diǎn)都被清除,檢漏進(jìn)程就完成了.
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